광자결정 제작을 위한 홀로그라피 공정 연구

여종빈; 윤상돈; 이현용

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자료유형: 학술저널

저자정보: 여종빈 윤상돈 이현용

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제20권 제8호

발행연도: 2007.1

수록면: 726 - 730 (5page)

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Two dimensional photonic crystals (2D PCs) have been fabricated by a double exposure holographic method using a He-Cd laser with a wavelength of 442 nm. The arrays of the 2D PCs exhibit variable lattice structures from square to triangle according to a change of rotating angle () for double exposure beams. In addition, the period and filling factor of PCs as well as the forms (dot or antidot) could be controlled by experimental conditions. A 1.18-μm-thick resist was spin-coated on Si substrate and the 1st holographic exposure was carried out at incident angle () of 11o. Then the sample was rotated to 45o∼90o and the 2nd holographic process was performed at 11o. The variation of diffraction efficiency during the exposure process was observed using a He-Ne laser in real time. The images of 2D PCs prepared were analyzed by SEM and AFM. We believe that the double holographic method is a tool suitable to realize the 2D PCs with a periodic array of large area.

#2D PCs #Photonic crystals #Holographic lithography #Periodic structure

참고문헌 (7)

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C.-O. Cho / 2004 / Photonic crystal slab waveguides fabricated by the combination of holography and photolithography / Japanese Journal of Applied Physics. 43 (4A) : 1384 ~

E. Yablonovitch / 1987 / Inhibited spontaneous emission in solid-state physics and electronics / Phys. Rev. Lett. 58 (20) : 2059 ~

H. Y. Lee / 2002 / Si-based omnidirectional reflector and transmission filter optimized at a wavelength of 1.55 / Applied Physics Letters 81 (24) : 4502 ~

J. P. Spallas / 1995 / Field emitter array mask patterning using laser interference lithography / J. Vac. Sci. Technol. B13 (5) : 1973 ~

S. H. Messaddeq / 2002 / Relief grating induced by photo-expansion in Ga-Ge-S and Ga-Ge-As-S glasses / Journal of Optoelectronics and Advanced Materials 4 (2) : 375 ~

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여종빈

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윤상돈

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이현용

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