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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제21권 제9호
발행연도
2008.1
수록면
829 - 834 (6page)

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Two-dimensional photonic quasicrystal (PQCs) template patterns have been fabricated on a 1.1 ㎛-thick DMI-150 photoresist using a multiple-exposure holographic method. A 442-nm HeCd laser was utilized as a light source and the holographic exposure was carried out at a fixed angle of θ = 6o. After the first holographic exposure, the sample was rotated to a proper angle and the second exposure was performed to the same manner. This exposure process was repeated n/2 times to obtain n-fold symmetric PQC patterns and then the sample was developed. The diffraction patterns of the fabricated PQC template were observed using a 632.8-nm HeNe laser. The fabricated PQCs exhibited 8, 10 and 12-fold rotational symmetry, which was in a good agreement with the interference simulation results. In addition, the diffraction patterns with n-rotation symmetry were observed for the corresponding n-fold PQCs. We believe that the multiple-exposure holography is a good method to fabricate the mesoscale PQCs with a high rotational symmetry.

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