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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.1
- 수록면
- 245 - 249 (5page)
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Two dimensional(2D) pair-photonic crystals (pair-PCs) have been fabricated by a multiple-exposure nanosphere lithography (MENSL) method using the self-assembled nanospheres as lens-mask patterns and the collimated laser beam as a multiple-exposing source. The arrays of the 2D pair-PCs exhibited variable lattice structures and shape the control of rotating angle (), tilting angle () and the exposure conditions. In addition, the base period or filling factor of pair-PCs as well as their shapes could be changed by experimental conditions and nanosphere size. A 1.18-μm-thick resist was spin- coated on Si substrate and the multiple exposure was carried out at change of and . Images of prepared 2D pair-PCs were observed by SEM. We believe that the MENSL method is a suitable useful tool to realize the pair-periodic arrays of large area.
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E. Yablonovitch / 1987 / Inhibited spontaneous emission in solid-state physics and electronics / Phys. Rev. Lett. 58 (20) : 2059 ~
H. Y. Lee / 2002 / Si-based omnidirectional reflector and transmission filter optimized at a wavelength of 1.55 μm / Appl. Phys. Lett. 81 (24) : 4502 ~
J.-B. Yeo / 2007 / Realization of dot- and antidot-type two- dimensional photonic crystals by double holographic method / J. Appl. Phys. 102 : 084502 ~
J.-B. Yeo / 2009 / Fabrication of Si-based two-dimensional photonic quasicrystals by using multiple-exposure holographic lithography / J. Vac. Sci. Tech., B, 27 (4) : 1886 ~
여종빈 / 2007 / 광자결정 제작을 위한 홀로그라피 공정 연구 / 전기전자재료학회논문지 20 (8) : 726 ~ 730
H. Y. Lee / 2002 / Si-based omnidirectional reflector and transmission filter optimized at a wavelength of 1.55 μm / Appl. Phys. Lett. 81 (24) : 4502 ~
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J.-B. Yeo / 2009 / Fabrication of Si-based two-dimensional photonic quasicrystals by using multiple-exposure holographic lithography / J. Vac. Sci. Tech., B, 27 (4) : 1886 ~
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