유기물 광전소자 제작을 위한 박스 캐소드 스퍼터 기술

김한기

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김한기

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제4호

발행연도: 2006.1

수록면: 373 - 378 (6page)

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We report on plasma damage free-sputtering technologies for organic light emitting diodes (OLEDs), organic thin film transistor (OTFT) and flexible displays by using a box cathode sputtering (BCS) method. Specially designed BCS system has two facing targets generating high magnetic fields ideally entering and leaving the targets, perpendicularly. This target geometry allows the formation of high-density plasma between targets and enables us to realize plasma damage free sputtering on organic layer without protection layer against plasma. The OLED with Al cathode prepared by BCS shows electrical and optical characteristics comparable to OLED with thermally evaporated Mg-Ag cathode. It was found that OLED with Al cathode layer prepared by BCS has much lower leakage current density (1×10-5 mA/cm2 at -6 V) than that (1×10-2~100 mA/cm2)of OLED prepared by conventional DC sputtering system. This indicates that BCS technique is a promising electrode deposition method for substituting conventional thermal evaporation and DC/RF sputtering in fabrication process of organic based optoelectronics.

#Plasma damage-free #OLED #Box cathode sputtering #BCS) #Leakage current #High-density plasma

참고문헌 (9)

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/ 1997. / Effect of Al and Ca on luminescence of organic materials 15 : 1745 ~

/ 1997. / Enhanced electron injection in organic electroluminescence devices using an Al/LiF electrode 70 : 152 ~

/ 1998. / A metal free cathode for organic semiconductor devices 72 : 2138 ~

/ 1998. / High-efficiency semi- transparent stacked organic light-emitting device 73 : 2399 ~

/ 1999. / Ion beam induced surface damages on Alq3 75 : 1619 ~

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