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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제18권 제4호
발행연도
2005.1
수록면
313 - 320 (8page)

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Stick-slip friction is one of the material removal mechanisms in tribology. It occurs when the static friction force is larger than the dynamic friction force, and make the friction curve fluctuated. In the friction monitoring of chemical mechanical polishing(CMP), the friction force also vibrates just as stick-slip friction. In this paper, an attempt to show the similarity between stick-slip friction and the friction of CMP was conducted. The prepared hard pad(IC1000/Suba400 stackedTM) and soft pad(Suba400TM) were tested with SiO2 slurry. The friction force was measured by piezoelectric sensor. According to this experiment, it was shown that as the head and table velocity became faster, the stick-slip time shortened because of the change of real contact area. And, the gradient of stick-slip period as a function of head and table speed in soft pad was more precipitous than that of hard one. From these results, it seems that the fluctuating friction force in CMP is stick-slip friction caused by viscoelastic behavior of the pad and the change of real contact area.
#CMP #chemical mechanical polishing) #Friction force #Friction force monitoring #Stick-slip #Viscoelastic behavior

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참고문헌 (13)

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/ 1929. / A molecular theory of friction 7 : 905 ~ google schola / 1965. / Friction and Wear of Ma- terials : 4 ~ google schola / 1983. / Engineering with polymers : 89 ~ google schola / 1989. / Adhesion and Friction google schola / 1990. / Chemistry and Physics of Solid Surfaces Ⅶ google schola

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