지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
A sub-ppm level MEMS gas sensor that can be used for the detection of formaldehyde (HCHO) is presented. It ismicromachining technology. To enhance sensitivity of the MEMS gas sensor with Ni-sed layer was embeded with ZnOsensing material and sensing electrodes. As experimental results, the changed sensor resistance ratio for HCHO gas was9.65 % for 10 ppb, 18.06 % for 100 ppb, and 35.7 % for 1 pm, respectively. In addition, the minimum detection levelof the fabricated MEMS gas sensor was 10 ppb for the HCHO gas. And the measured output voltage was about 0.94 Vfor 10 ppb HCHO gas concentration. The noise level of the fabricated MEMS gas sensor was about 50 mV. The responsewas 184 mW and its operating temperature was 400oC.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
B. L. Zhu / 2004 / Improvement in gas sensitivity of ZnO thick film to volatile organic compounds (VOCs) by adding TiO₂ / Material Letters 58 : 624 ~ 629
J. Amirola / 2005 / Micromachined silicon microcantilevers for gas sensing applications with capacitive read -out / Sensors and Actuator B 111-112 : 247 ~ 253
K. Kanda / 2005 / Development of aWO₃thick-film-based sensor for the detection of VOC / Sensors and Actuators B 108 : 97 ~ 101
K. Kawamura / 2005 / Development of a novel hand-held formaldehyde gas sensor for the rapid detection of sick building syndrome / Sensors and Actuator B 105 : 495 ~ 501
M. Mascini / 2004 / Piezoelectric sensors for dioxins: a biomimetric approach / Biosensors and Bioelectronics 20 : 1203 ~ 1210
J. Amirola / 2005 / Micromachined silicon microcantilevers for gas sensing applications with capacitive read -out / Sensors and Actuator B 111-112 : 247 ~ 253
K. Kanda / 2005 / Development of aWO₃thick-film-based sensor for the detection of VOC / Sensors and Actuators B 108 : 97 ~ 101
K. Kawamura / 2005 / Development of a novel hand-held formaldehyde gas sensor for the rapid detection of sick building syndrome / Sensors and Actuator B 105 : 495 ~ 501
M. Mascini / 2004 / Piezoelectric sensors for dioxins: a biomimetric approach / Biosensors and Bioelectronics 20 : 1203 ~ 1210
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
산화질소 검출용 마이크로 가스센서 제조공정
한국재료학회지
2013 .01
-
Heat Transfer Simulation for NO₂ Micro Gas Sensor Fabricated by MEMS Technology
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2004 .07
-
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
-
NDIR MEMS Gas Sensor
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .11
-
나일론 시트와 염료를 이용한 고감도 색변환 포름알데히드 가스 센서
센서학회지
2017 .01
-
CO gas 검지용 ZnO/PdClZ계 가스센서의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1990 .11
-
MEMS 센서 플랫폼의 열 피로에 대한 신뢰성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .05
-
Study on the MEMS-type Gas Sensor for Monitoring the Automobile Exhaust Gas, NOx
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
전기방사법으로 제작한 In2O3 나노섬유 기반 고감도 실내독성 CO 및 HCHO 가스센서
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
An Availability of Low Cost Sensors for Machine Fault Diagnosis
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2012 .10
-
Semiconductor-Type MEMS Gas Sensor for Real-Time Environmental Monitoring Applications
[ETRI] ETRI Journal
2013 .08
-
의료에서의 센서와 MEMS 기술 응용
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
-
마이크로 플랫폼 상에 나노 감지 재료를 이용한 저전력 NOX 센서의 설계 및 제조
대한임베디드공학회논문지
2007 .01
-
나노소재 및 MEMS 플랫폼을 이용한 저전력 대기 가스 센서 개발
한국해양환경·에너지학회 학술대회논문집
2016 .05
-
MEMS센서를 이용한 공력 데이터 시스템 개발
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2004 .11
-
Fabrication and Characteristics of Micro-Electro-Mechanical-System-Based Gas Flow Sensor
센서학회지
2011 .01
-
단일전극을 가진 마이크로 가스센서의 제작 및 특성
센서학회지
2002 .01
-
MEMS 기술을 이용한 비분산 적외선 가스 센서 제작 및 특성
한국가스학회 학술대회논문집
2011 .11
-
MEMS-based pressure sensor for industrial applications
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .04
-
In2O3 에탄올 가스 센서의 가스 감응 특성에 미치는 첨가물 효과
센서학회지
2014 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0