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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제12호
발행연도
2016.1
수록면
803 - 808 (6page)

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본 연구에서는 실내 독성 가스를 검출하기 위하서 전기방사를 이용하여 In2O3를 1차원 나노구조 형태로 제조하였다. 나노섬유의 직경 제어를 위해서 전기방사 시 용액의 점도, 노즐과 기판 사이의 가압 전압과 거리를 조절하였다. 또한 감지장치의 집적화를 위하여 합성된 In2O3 나노섬유 기반의 페이스트를 제조하였고 카본블랙을 첨가물로 사용하여 특성비교를 하였다. 패턴화 된 Au전극이 증착되어있는 실리콘 웨이퍼위에 핸드프린팅 방법을 이용하여 페이스트를 도포하였고 300℃에서 CO와 HCHO에 대한 감응특성을 측정하였다. 그 결과 카본블랙을 첨가한 경우 감도, 반응시간, 회복시간이 향상되었음을 확인할 수 있었다.

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