지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
We fabricated nano-templates by low temperature BCP(block copolymer) process at 180℃, then we deposited 10 nm- thick TiO2 layers with ALD(atomic layer deposition) at low temperature of 150℃. Through FE-SEM analysis, we confirmed the successful formation of the groove-type(width of crest : 30 nm, width of trough : 18 nm) and the cylinder- type(diameter : 10 nm, distance between hole : 25 nm) templates. Moreover, after TiO2-ALD processing, we confirmed the deposition of the uniform nano layers of TiO2 on the nano-templates. Through AFM analysis, the pitches of the crest- through(in groove-type) and hole-hole(in cylinder-type) were the same before and after TiO2-ALD processing. In addition, we indirectly determined the existence of the uniform TiO2 layers on nano-templates as the surface roughness decreased drastically. We successfully fabricated nano-template at low temperature and confirmed that the three-dimensional nano- structure for sensor application could be achieved by TiO2-ALD processing at extremely low temperature of 150℃.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
B. O’regan / 1991 / A low-cost, high-efficiency solar cell based on dye-sensitized colloidal TiO2 films / Nature 353 : 737 ~ 740
D. S. Lee / 1997 / Fabrication and NOX sensing characteristics of WO3 based thick film devices doped with TiO2 and noble metals / J. Kor. Sensors Soc. 6 (4) : 274 ~ 279
I. Bertoti / 1995 / Surface characterisation of plasma-nitrided titanium: an XPS study / Appl. Surf. Sci. 84 (4) : 357 ~ 371
J. Aarik / 2001 / Influence of structure development on atomic layer deposition of TiO2 thin films / Appl. Surf. Sci. 181 (3) : 339 ~ 348
M. Gawenda / 2006 / Toward nanoporous composite membranes with tailored block copolymers as selective layer / Desalination 200 : 29 ~ 31
D. S. Lee / 1997 / Fabrication and NOX sensing characteristics of WO3 based thick film devices doped with TiO2 and noble metals / J. Kor. Sensors Soc. 6 (4) : 274 ~ 279
I. Bertoti / 1995 / Surface characterisation of plasma-nitrided titanium: an XPS study / Appl. Surf. Sci. 84 (4) : 357 ~ 371
J. Aarik / 2001 / Influence of structure development on atomic layer deposition of TiO2 thin films / Appl. Surf. Sci. 181 (3) : 339 ~ 348
M. Gawenda / 2006 / Toward nanoporous composite membranes with tailored block copolymers as selective layer / Desalination 200 : 29 ~ 31
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
저온 ALD로 제조된 TiO 나노 박막 물성 연구
한국재료학회지
2008 .01
-
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
ALD 방법으로 제조된 나노급 TiO₂에 의한 자외선 차단효과 연구
한국산학기술학회 논문지
2007 .08
-
Study of Thickness Estimation for the Interfacial Layer of TiO₂ ALD films
대한전기학회 학술대회 논문집
2013 .07
-
Customized Thermal ALD (Atomic Layer Deposition) System 을 이용한 TiO₂ 박막 증착
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .11
-
Thermal Cycling Test for Eco-friendly PTC Thermistor in Ba0.97(Bi0.5Na0.5)0.03TiO₃ System
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2015 .05
-
Nanocomposite of Polybenzoxazine and (Ba0.7Sr0.3)TiO₃
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2006 .10
-
무연 BaTiO-(BiK)TiO PTCR 세라믹과 PTCR 특성에 미치는 NbO의 효과
한국재료학회지
2008 .01
-
수열처리에 의한 TiO 나노 튜브 센서의 가스 검지 특성
한국재료학회지
2007 .01
-
V₂O5/TiO₂ 나노 촉매를 이용한 elemental mercury의 제어
대한환경공학회 학술발표논문집
2005 .12
-
원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
-
The Electrical Characteristics of TiO2/Al2O3/TiO2 nano-laminated thin film by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
한국재료학회 학술발표대회
2007 .01
-
원자층 증착법에 의한 TiO₂, Al₂O₃, 및 TiO₂-Al₂O₃ 나노라미네이트 박막이 316L Stainless Steel의 부식특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2017 .02
-
원자층증착 기술: 개요 및 응용분야
한국재료학회지
2013 .01
-
ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
이산화 티타늄 위에서의 원자층 증착법 백금의 성장 특성
한국표면공학회지
2015 .04
-
La 초기 화합물과 기판의 형태가 (Pb0.92La0.05)TiO₃ 박막의 치밀화 거동에 미치는 영향
한국표면공학회지
2000 .04
-
나노 입자 증착 공정으로 제작한 TiO₂ 박막의 물 분해 장치 개발 및 특성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
-
상부전극에 따른 (Sr0.85Ca0.15)TiO₃ 박막의 전기적 특성
전기학회논문지 C
2000 .02
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0