메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제4호
발행연도
2012.1
수록면
304 - 308 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
고주파 스퍼터링한 ZnO-SnO2막을 활성층으로 하여 투명박막트랜지스터(TTFT)를 제조하였다. Zn와 Sn의 원자비가 2:1인 타겟을 사용하여 ZnO-SnO2막을 증착하였다. 인듐으로 소스 및 드레인 전극을 입히기 전에 ZnO-SnO2막을 200℃ 및 400℃에서 5분 간 열처리하여 TTFT의 특성에 미치는 후속 열처리의 영향을 조사하였다. ZnO-SnO2막의 저항률을 높이기 위해 스퍼터링 시 산소를 주입하였으며, 산소유량에 따른 TTFT의 특성변화를 조사하였다. 100 nm 두께의 SiO2 위에 100 nm의 Si3N4막을 기른 후 TTFT의 게이트 절연막으로 사용하였다. TTFT의 전달 특성을 통해 이동도, 작동전류-차단전류 비(Ion/Ioff), 계면상태밀도(Dit) 등을 구하였다.
#Transparent thin film transistors #ZnO-SnO2 films #Rf magnetron sputtering #Mobility #Interface state density

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
A. Dey / 2011 / / Solid State Electron 62 : 19 ~ google schola A. Suresh / 2008 / / Appl. Phys. Lett 92 : 033502 ~ google schola D. C. Paine / 2008 / / Thin Solid Films 516 : 5894 ~ google schola D. H. Cho / 2009 / / IEEE Electron Device Lett 31 : 48 ~ google schola D. K. Schroder / 1990 / Semiconductor Material and Device Characterization / A Wiley-Interscience publication : 231 ~ google schola

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0