유기박막트랜지스터 적용을 위한 Soluble Pentacene 박막의 특성연구

공수철; 임현승; 신익섭; 박형호; 전형탁; 장영철; 장호정

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자료유형: 학술저널

저자정보: 공수철 임현승 신익섭 박형호 전형탁 장영철 장호정

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제14권 제3호

발행연도: 2007.1

수록면: 1 - 6 (6page)

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본 연구에서는 유기박막트랜지스터(OTFT, Organic Thin film Transistor)에 응용을 위해 용액 (soluble) 공정을 통하여 제작된 pentacene 박막의 특성을 분석하여 pentacene 박막의 OTFT 소자에 적용 가능성을 조사하였다. Pentacene을 용해시키기 위해 toluene과 chloroform의 두 종류의 용제를 사용하였으며, 이들 용제가 pentacene 박막의 특성에 미치는 영향을 연구하였다. Pentacene 용액은 ITO/Glass 기판위에 spin-coating 법으로 유기 반도체 박막을 제작하여 각 박막의 표면형상, 결정화 특성과 전기적 특성을 조사하였다. AFM을 이용한 표면 형상 관찰 결과 chloroform을 이용한 pentacene 박막이 toluene을 이용한 박막에 비하여 표면 거칠기가 개선되는 경향을 보여주었다. XRD 회절 분석 결과 모든 pentacene 박막 시료에서 결정화가 되지 않은 비정질 형태를 보여주었다. Hall effect measurement 분석 결과 chloroform 용제를 이용한 pentacene 박막이 toluene용제를 사용한 시료에 비해 보다 우수한 전기적 특성을 나타내었다. 즉, chloroform에 용해된 pentacene 박막의 경우 전하농도와 이동도는 -3.225 x 1014 cm-3 와 3.5 x 10-1 cm2ㆍV-1ㆍS-1를 각각 나타내었다. 또한 비저항은 약 2.5 x 102 Ω·cm를 얻었다.

#pentacene #organic thin film transistor #chloroform #toluene #spin coating #XRD #hall effect measurement

참고문헌 (9)

참고문헌 신청

/ 1992 / Structural studies on highly ordered and highly conductive thin film of pentacene : 5220 ~ 5225

/ 1999 / A soluble Pentacene Precusor: Synthesis, Solid-State Conversion into Pentacene and Application in a Field-Effect Transistor 11 (6) : 480 ~ 483

/ 2002 / Electrical Characteristics of pentacene-based Schottky diodes 21 : 433 ~ 437

/ 2002 / Organic field-effect using perylene 21 : 439 ~ 443

/ 2003 / Functionalized Pentacene Active Layer Organic Thin Film Transistors 4 (23) : 2009 ~ 2011

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