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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제24권 제3호
발행연도
2017.1
수록면
77 - 81 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

도금 조건과 열처리에 따른 Ni-P박막의 전기전도도와 경도변화에 관한 연구
김남길 SDM전공 2017.01 학위논문
Ni-P 합금의 전기전도도와 경도에 대한 도금 조건의 영향
김남길 ,  선용빈 마이크로전자 및 패키징학회지 2017.01 학술저널

초록· 키워드

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Pulse electroplating of Ni-P alloy was studied to fulfill the material requirement to the advanced vertical probe tip in wafer probe card. The major concerns are for the electrical conductivity and yield strength. Plating parameters such as current density, duty cycle and solution components were examined to obtain the nanocrystal structure and proper percentage of phosphorus, leading to how to control the nanocrystal grain growth and precipitation of Ni3P after heat treatment. Among the parameters, the amount of phosphorus acid was the main factor affecting on the grain size and sheet resistance, and the amount of 0.1 gram was appropriate. Since hardness in Ni-P alloy is increased by as-plated nanocrystal structure plus precipitation of Ni3P, the concentration of P less than 15 at% was better choice for the grain coarsening without minus in hardness value. The following heat treatment made grain growth and dispersion of precipitates adjustable to meet the target limit of resistance of 100 mΩ and hardness number of over 1000Hv. The Ni-P alloy will be a candidate for the substitute of the conventional probe tip material.
#Ni-P alloy #pulsed electroplating #electrical conductivity #hardness #nanocrystal

목차

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참고문헌 (8)

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/ / Wikipedia, Wikipedia Foundation Inc google schola G. McMahon / 1989 / Structural Transitions in Electroplated Ni-P alloys / J. of the Materials Science Letters 8 : 865 ~ google schola J. H. Ahn / 2011 / Data Analysis for Beginners / Hannarae Publisging Co google schola K. Lu / 1991 / Grain growth kinetics and interfacial energies in nanocrystalline Ni-P alloys / J. of the Appl. Phys 69 (10) : 7345 ~ google schola M. S. Chandrasekar / 2008 / Pulse and Pulse Reverse Plating-Conceptual, Advantages and Applications / Electrochimica Acta 53 : 3313 ~ google schola

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