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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 선용빈
- 발행연도
- 2017
- 저작권
- 경기대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수13
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펄스 전기도금법으로 Ni-P박막의 전기전도도의 향상 및 경도를 높이는 도금 조건을 연구하였다. Ni-P의 전기도금시의 각각의 파라미터 조건에 따라 P의 조성을 14∼38%까지 변화시킬 수 있었다.
열처리를 통하여 결정 입자는 약80~210Å의 범위까지 변화하였고, 열처리 된 Ni-P박막의 경도는 비커스(Vicker’s)경도 750∼1100HV 범위를 나타내었다.
전기도금 된 Ni-P박막은 P의 조성에 따라 비정질 상태임을 확인 하였으며, 열처리 후에는 Ni3P가 먼저 석출되고, Ni3P의 특성을 따랐다. 그러나 P의 농도가 클수록, 이는 결정입자 성장을 느리게 하였고 결정입자가 작을수록 면저항(Rs)은 증가하였다.
ANOVA 분석에 따르면 입자크기(GS) 및 면저항(Rs)는 H3PO3의 농도에 유의함을 알 수 있었으며, 각각의 조건에서 교호작용은 없었다. 경도는 어떠한 조건의 파라미터도 5% 이내에 유의하지 않았으나, 경도에 대하여 입자크기(GS) 및 면저항(Rs)은 듀티사이클(DC)에 비하여 영향이 있음을 알 수 있었다.
열처리를 통하여 결정 입자는 약80~210Å의 범위까지 변화하였고, 열처리 된 Ni-P박막의 경도는 비커스(Vicker’s)경도 750∼1100HV 범위를 나타내었다.
전기도금 된 Ni-P박막은 P의 조성에 따라 비정질 상태임을 확인 하였으며, 열처리 후에는 Ni3P가 먼저 석출되고, Ni3P의 특성을 따랐다. 그러나 P의 농도가 클수록, 이는 결정입자 성장을 느리게 하였고 결정입자가 작을수록 면저항(Rs)은 증가하였다.
ANOVA 분석에 따르면 입자크기(GS) 및 면저항(Rs)는 H3PO3의 농도에 유의함을 알 수 있었으며, 각각의 조건에서 교호작용은 없었다. 경도는 어떠한 조건의 파라미터도 5% 이내에 유의하지 않았으나, 경도에 대하여 입자크기(GS) 및 면저항(Rs)은 듀티사이클(DC)에 비하여 영향이 있음을 알 수 있었다.
목차
제 1 장 서 론 11.1 연구 배경 11.2 연구 목적 3제 2 장 실험 방법 52.1 샘플 제작 52.1.1 샘플 웨이퍼 준비 52.1.2 시편의 제작 72.2 전기 도금방법 및 분석방법 10제 3 장 결과 및 토의 133.1 박막의 도금 두께와 조성 133.2 P의 함량에 따른 결정 입자의 크기와 경도 변화 183.3 P의 함량에 따른 면저항(Rs)의 변화 243.4 입자크기(GS)에 따른 경도 변화 273.5 입자크기(GS)에 따른 면저항(Rs)의 변화 293.6 R Programming을 이용한 ANOVA분석 30제 4 장 결 론 34참고문헌 35Abstract 37
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