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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제18권 제3호
발행연도
2008.1
수록면
105 - 108 (4page)

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Four different thin films were made by depositing PZ and PT in different stacking sequences. PZ and PT phases are preferably co-existed in sample A and C that are annealing after each coatings. The sample B and D, on the other hands, have tendency toward the PZT phase after co-firing the sample. The sample B that started from PT stacking first was more stable PZT phase than that of PZ first sample D.
#PbZrO₃ #PZT #multilayered structure #ferroelectric thin film #P-E hystereis

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A.B. Wegner / 1991 / Integrated plzt thin film waveguide modulators ferroelectrics 116 : 195 ~ google schola D.L. Polla / 1992 / Applications of PZT and related thin films in piezoelectric microsensors / Mat. Res. Soc. Symp. Proc. : 55 ~ google schola M. Sayer / 1992 / Integrated piezoelectric and pyroelectric devices from thin ferroelectrics / Mat. Res. Soc. Symp. Proc. : 39 ~ google schola S.H. Bae / 2000 / Preferred orientation in PbZrO3 thin film prepared by sol-gel technique / Mater. Res. Bull 35 : 2245 ~ google schola S.H. Bae / 2001 / Dielectric properties of PbZrxTi1 ? xO3/PbZrO3 multilayered thin film / Mater. Res. Bull 36 : 1931 ~ google schola

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