CFD-ACE+를 이용한 Gas Flow Sputtering 공정 해석

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Numerical modeling of linear array of internal ICP systems by CFD-ACE+

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

육면체구 격자 회전

김기환

한국기상학회 학술대회 논문집

2015 .04

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

TSV용 마그네트론 스퍼터링 음극의 컴퓨터 시뮬레이션

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering

David RUZIC ,  P ,  iya RAMAN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

경로에 대한 심적회전 빈도와 계열위치가 심적회전 수행에 미치는 영향: 운전자의 연령대별 비교

이재식

Journal of The Korean Data Analysis Society

2017 .01

Floating electrode를 갖는 플라즈마 시스템의 수치 모델링

주정훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Large-area graphene layer grown by using high power impulse magnetron sputtering

Man-Jia PO ,  De-Chiuan LIOU ,  Min-Yi CHEN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Design and Analysis of Permanent Magnet Array for Development of Large Area Magnetron Sputtering Sources

Ye-Lim Lee ,  Rambabu Kuchi ,  S 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2015 .11

Automation of dc magnetron sputtering system using real-time thickness monitor

S. H. Lee ,  Sug-Bong Choe

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2019 .11

Next-generation magnetron sputtering ion source development via an ultra-low cooling system

Joonwoo Kim ,  Si Ho Oh ,  Woo Ri Ju 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2023 .05

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering

Shahinu ,  RAHMAN ,  Heon-Ju LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System

Tae Hyung Kim ,  Geun Young Yeom

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

반도체 공정용 플라즈마 시뮬레이션 연구의 동향 및 전망

이해준

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석

오세훈 ,  이윤호 ,  박건우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Magnetron Sputter Coating of Inner Surface of 1-inch Diameter Tube

Seung-Hee Han ,  Se-Hoon An ,  In-Seol Song 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08