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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.1
- 수록면
- 350 - 355 (6page)
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Thicknesses of Pt films ranging from 60 to 950 nm are measurednoninvasively using a TE011-mode dielectric resonator with theresonant frequency of 8.5 - 9.8 GHz at temperatures of 77 K and293 K. A cylindrical rutile rod is used as the dielectric, with a high-TCsuperconductive YBa2Cu3O7-δ film used as the bottom endplate of theresonator for measurements at 77 K. This method is based on twofacts: i) Due to the electromagnetic interferences of incoming andreflected waves at the surface of the metal film surface, the effectivesurface resistance varies with the film thickness, and ii) the intrinsicsurface resistance of normal metals is equal to the intrinsic surfacereactance in the local limit. The measured thicknesses using the rutileresonator appear to be comparable with those obtained using aprofilometer.
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S. Wolf / 2000 / Silicon Processing for the VLSI Era vol. 1 / Lattice Press :359
R. Jenkins / 1999 / X-ray Fluorescence Spectrometry / John Wiley & Sons :17
M. J. Banet / 1998 / Appl. Phys. Lett 73:169
Z. -Y. Shen / 1992 / IEEE T. Microw. Theory 40:2424
J. Krupka / 1993 / IEEE T. Appl. Supercon 30:3043
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