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Optimization of Plasma Atomic Layer Etch Process for Silicon Carbide
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
원자수준 플라즈마 표면 개질
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
실리콘카바이드 플라즈마 에칭 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
알루미늄-실리콘 합금의 산 에칭 반응을 이용한 다공성 실리콘 나노 구조 제조에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
Plasma deposited silicon thin films for next generation photovoltaics
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
OF₂/NH₃ 리모트 플라즈마를 이용한 실리콘 산화물의 순환형 식각 공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
한국표면공학회지
2015 .12
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
표면 액적 제거 및 오염 방지를 위한 초발수성 플라즈마 처리 방법에 대한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .03
플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
High-quality SiNx thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
습식 화학 공정에 의한 태양전지로부터 고순도 실리콘 회수 및 이를 이용한 태양전지 재제조
한국재료학회지
2019 .01
불규칙 패턴 에칭에 의한 표면 형상 제어와 광학적 특성
전기전자재료학회논문지
2017 .12
낮은 GWP의 플루오로카본 전구체를 이용한 SiO₂, Si₃N₄ 원자층 식각공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
Hydrogen-Induced Damage During the Plasma Etching Process
NANO
2017 .01
Analysis of Passivated Tunneling Oxide Layer by In-Situ Process in Rear-emitter Silicon Heterojunction Solar Cells
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2020 .08
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