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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김형진 (Kangwon National University) 김병희 (Kangwon National University) 서영호 (Kangwon National University)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.27 No.4
발행연도
2018.8
수록면
351 - 356 (6page)
DOI
10.7735/ksmte.2018.27.4.351

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2018

반사 공압 기반 중공 노즐을 이용한 미세패턴 높이 측정
김형진 ,  김병희 ,  서영호 한국생산제조학회지 2018.08 학술저널

2016

반사 음향-공압 방식 비접촉 안압 측정 시스템 개발
김형진 융합시스템공학과 2016.01 학위논문

2014

소형 반사공압 타입 거리 측정기의 유동 해석
김형진 ,  김병희 ,  서영호 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014.10 학술대회자료
CFD기반 정밀거리 측정용 공압 마이크로미터의 노즐형상에 따른 반사 공압 특성 분석
김형진 ,  서영호 ,  김병희 대한기계학회 춘추학술대회 2014.05 학술대회자료

초록· 키워드

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This research proposed a new method to measure the height of micropattern by non-contact method using only pneumatic pressure. When a pneumatic constant pressure is through a hollow nozzle on a micropatterned object, the height of the micropattern can be measured using a pressure sensor located at the end of the nozzle. The measured pneumatic pressure depends on the height of the micropattern. Thus, the latter can be evaluated by converting pressure into distance. To verify the proposed method, the distance between the object and fabricated hollow nozzle was varied from 10 to 200 μm, and experiments were performed to investigate static responses. Furthermore, to confirm the dynamic response, experiments were performed to measure the reflected pneumatic pressure while moving the hollow nozzle over the micropattern. The static and dynamic state experiments, revealed an error of approximately 2% in the reflected pneumatic pressure.
#Hollow nozzle #Reflected pneumatic pressure #Micropattern #CFD simulation #Height measurement

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 본론
3. 실험
4. 결론
References

참고문헌 (12)

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