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저자정보
안영기 (전자부품연구원) 정재성 (전자부품연구원) 류해용 (세메스) 사윤기 (세메스)
저널정보
한국신뢰성학회 한국신뢰성학회 학술대회논문집 한국신뢰성학회 2018 춘계학술대회 논문집
발행연도
2018.5
수록면
98 - 98 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

P-QRM체계 기반 반도체 포토 공정용 스피너 장비 신뢰성 향상 사례 연구
안영기 ,  정재성 ,  류해용 외 1명 한국신뢰성학회 학술대회논문집 2018.05 학술대회자료
필드 고장 데이터 기반 반도체 포토공정용 스피너 장비 신뢰성 보전 연구
안영기 ,  정재성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.05 학술대회자료

초록· 키워드

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반도체 미세회로의 기술 개발에 따라 공정 품질 및 수율과 같은 장비 단위의 신뢰성 연구의 중요성이 증가하고 있다. 현재 반도체 장비는 제품의 개발주기 단축, 다양한 수요에 대응하기 위하여 고도화, 복잡화되어있으며, 개발단계에서 부품 혹은 모듈 단위의 신뢰성 확보 전략은 전체 장비의 신뢰성 향상에 한계점을 보이고 있다.
본 논문에서는 반도체 장비의 신뢰성을 확보하기 위하여 개발단계, 생산단계, 운용/유지단계의 ‘장비 P-QRM 성장 지원 체계’를 소개하고, 이를 기반으로 실제 반도체 포토공정용 스피너 장비에 적용하여 장비 신뢰성 향상에 대하여 연구하였다.

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