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플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 진단을 위해 개발한 전원장치 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
전자기 시뮬레이션을 이용한 임피던스 매칭 장치 내 RF 전력 측정 최적 위치에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 분광 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
공정 중 실시간 전자밀도 측정을 위한 평판형 컷오프 프로브 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
평판형 컷오프 프로브의 회로 모델링 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
고주파 프로브 진단기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
정전용량 변화를 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
고조화파 프로브 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 진단용 레이저의 버스트모드 동작을 위한 Q-switching 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
레이저 스펙클 패턴을 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 진단을 위한 다이오드레이저 기반의 Nd:YAG 레이저 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
광 센서를 이용한 공정 진단법
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
VEST 내부 플라즈마 진단을 위한 회절격자 분광기 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
정전용량 변화를 이용한 대기압 제트 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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