수치해석을 통한 플라즈마 디스플레이 패널 증착 장비의 쉴드 열변형 특성 분석

우남운; 이영림

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 우남운 (공주대학교) 이영림 (공주대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2017년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2017.12

수록면: 764 - 764 (1page)

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#Sputtering equipment #Thermal strain #Shield #Plasma #Display panal

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