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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김용주 (KAIST)
저널정보
한국고분자학회 고분자 과학과 기술 고분자과학과 기술 제28권 제4호
발행연도
2017.8
수록면
280 - 283 (4page)

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목차

1. 서론
2. 본론
3. 결론
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P. Rai-Choudhury, Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, SPIE Press, Bellingham, 1997. M. Park, C. Harrison, P. M. Cahikin, R. A. Register, and D. H. Adamson, Science, 276, 1401 (1997). S. O. Kim, H. H. Solak, M. P. Stoykovich, N. J. Ferrier, J. J. de Pablo, and P. F. Nealy, Nature, 424, 411 (2003). C. Park, J. Yoon, and E. L. Thomas, Polymer, 44, 6725 (2003). P. A. Rincon Delgadillo, R. Gronheid, G. Lin, Y. Cao, A. Romo, M. Somervell, K. Nafus, and P. F. Nealy, Proc. of SPIE, 8680, 86801H (2013).

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