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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
심다솔 (Sunmoon Univ.) 전종균 (Sunmoon University) 박용재 (Sunmoon Univ.) 박상곤 (RMSTechnology Corporation) 한현희 (RMSTechnology Corporation)
저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제27권 제4호(통권 제236호)
발행연도
2017.8
수록면
405 - 411 (7page)
DOI
10.5050/KSNVE.2017.27.4.405

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

초정밀장비 미진동제어를 위한 기계식 가변감쇠시스템의 진동제어성능 연구
심다솔 ,  전종균 ,  박용재 외 2명 한국소음진동공학회논문집 2017.08 학술저널
기계식 가변형 유체 감쇠시스템을 이용한 미진동 제어에 관한 연구
심다솔 기계공학과 2017.01 학위논문

초록· 키워드

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The precision equipment for precision processing, manufacturing, and inspection process are usually managed in a strictly vibration-controlled environment that uses vibration isolators. To complement the weaknesses of these isolators, we designed and tested two types of mechanical adjustable dampers with helical gear: a box-like adjustable damper with a comb-type orifice and a round damper with a wing-type orifice. Additionally, we designed two versions for the latter: a standard version and an enhanced version to improve the variable performance. We then compared the performance of these two versions during their modal tests. Not surprisingly, the test showed that the enhanced version was superior to the standard version in variable damping. For this reason, we expect this damper to be particularly useful to semiconductor manufacturing facilities where the precision equipment are located.
#Mechanical Adjustable Damping(기계식 가변감쇠) #Orifice(오리피스) #Helical Gear(헬리컬기어) #Damping Ratio(감쇠율)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 기계식 가변감쇠시스템
3. 박스 타입 가변감쇠시스템 성능 실험
4. 원형 타입 가변감쇠시스템 성능 실험
5. 결론
References

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
Moon, S. J., Park, S. H., Jeong, J. A., Hun, Y. C., Kim, C. H. and Choi, S. M., 2011, A Study on the Development of a Hybrid Electromagnetic Actuator Against Microvibration, Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 21, No. 5, pp. 475~476. Kim, S. J., Lee, S. S., Chun, H. M. and Hong, K. P., 2009, A Study on the Sub-micro Vibration Reduction Floor System of the Long-span Structure for Technology Facilities, Architectural Institute of Korea, Vol. 25, No. 10, pp. 67~74. Lee, H. K., Pak, J. H., Won, Y. J., Park, H. D. and Kim, D. H., 1999, A Study on the Structural Dynamic Design for Sub-micro Vibration Control in High Class Semiconductor Factory by Semi-empirical Method, Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering, Vol. 9, No. 9, pp. 1227~ 1233. Lee, H. H., Lee, J. H., Lee, K. H. and Oh, J. W., 2009, Develop High Performance Vibration Isolation Mount use to Damping of Viscosity Oil, Proceedings of the KSNVE Annual Autumn Conference, pp. 696~697. Park, S. H., Kim, J. S., Ock, S. H. and Lee, G. S., 2009, Development of Evaluation Technology for Micro-vibration Isolator, Proceedings of the KSNVE Annual Autumn Conference, pp.192~193.

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