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박성진 (호서대 반도체 제조장비 국산화 연구센터) 김원기 (호서대 반도체 제조장비 국산화 연구센터) 이의용 (호서대 반도체 제조장비 국산화 연구센터) 설용태 (호서대 반도체 제조장비 국산화 연구센터) 김준형 ([주]AMK) 박영휘 ([주]AMK) 채희상 ([주]AMK) 전석율 ([주]AMK) 윤덕용 (천안공대)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
71 - 73 (3page)

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본 논문에서는 RF Matcher 의 동작성능 개선을 위하여 RF Match 제어단의 제어 알고리즘과 하드웨어의 디지털화 방안에 대한 연구를 수행하였다. 개발된 제어단은 최적의 동작성능을 위하여 multi-preset, 이득제어 기능 등 다양한 부가 기능을 갖도록 설계/제작하였고, 또한 LCD 모듈의 설치를 통하여 RF Matcher의 실시간 상태 파악이 가능하도록 하였다. 개발된 제어단에 대한 실험결과로부터 RF 전력의 over/under shoot, 플라즈마 플리커 등의 현상이 제거되었고, 정합시간이 크게 단축되었음을 알 수 있었다.

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