마이크로머니시닝 기술을 이용한 3차원 마이크로 챔버형 글루코스 센서의 개발

김창교; 김성호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김창교 김성호

저널정보: 한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제6권 제1호

발행연도: 2005.2

수록면: 24 - 28 (5page)

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3차원 실리콘 챔버를 갖는 15.8×15.8㎟ 크기의 칩을 바이오 센서용으로 마이크로머시닝 기술을 이용하여 개발하였다. 비등방성 식각기술을 이용하여 (100)방향의 P형 실리콘 웨이퍼위에 마이크로 챔버를 형성하였다. 마이크로 챔버를 갖는 웨이퍼와 백금전극이 도포된 Pyrex 유리를 DGF-48S 접착제를 이용하여 접합하였다. 백금전극과 Ag/AgCI 기준전극에 의한 전기화학적 특성을 조사하였다.

#biosensor #glucose sensor #biochip #MEMS #micromachining technology

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[학술지(정기간행물)] - / 1997 / Microbiosensors using electrodes made in Si-technology?, 1 : 71 ~ 76

[학술지(정기간행물)] - / 2000. / Amperometric goucose sensor based on glucose oxidase immobilized in electrochemically generated poly 423 : 101 ~ 106

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