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이용수
Abstract
1. 서론
2. 설계
3. 제작
4. 실험
5. 토의
6. 결론
참고문헌
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마이크로머시닝 기술
기계와 재료
1995 .01
마이크로머시닝을 이용한 Flexible 센서 패키징
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
표준마이크로머시닝 프로젝트
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
전기학회논문지 C
2000 .06
마이크로머시닝 기술에 의해 형성된 막에 있어서의 잔류응력 추정
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술
소성·가공
2004 .04
UV 레이저 마이크로머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작기술개발
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2004 .05
마이크로머시닝 기술을 이용한 초소형 자이로센서의 연구동향
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
마이크로머시닝 기술을 이용한 전자 광학 렌즈의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .11
레이저 응용 마이크로머시닝 기술
기계와 재료
1999 .01
마이크로머시닝 기술을 이용한 마이크로스트립 슬롯 결합 대역통과 필터
한국통신학회 학술대회논문집
2000 .07
실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .07
혼합 마이크로머시닝기술을 이용한 다층전극구조의 정전렌즈 제작 ( Fabrication of multi-layered electrostatic lens by mixed micromachining technology )
전자공학회논문지-D
1998 .09
A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
UV 레이저 마이크로 머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .05
마이크로머시닝 공정을 이용한 슬롯 결합형 원형 패치 안테나
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
마이크로머시닝 공정을 이용한 슬롯 결합형 원형 패치 안테나
대한전기학회 학술대회 논문집
2008 .07
마이크로머시닝 기술과 MEMS 광스위치 응용
소성·가공
2002 .04
마이크로머시닝 기술의 의학 및 생물학 응용
전자공학회지
1997 .10
실리콘 마이크로머시닝응 이용한 유체증폭기의 제작과 수치해석을 이용한 해석
대한전기학회 학술대회 논문집
1996 .07
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