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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제4권 제3호
발행연도
2003.9
수록면
139 - 144 (6page)

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평면형 마이크로가스센서를 MEMS 기술을 이용하여 제작하였다. NO₂ 가스의 감지를 위한 감지물질로서 이용되는 WO₃ 박막은 텅스텐 타켓을 스퍼터링한 후에 1시간 동안 여러 온도에서 열산화법에 의해 형성하였다. NO₂ 감도(RgaslRair) 는 열처리 온도에 따른 WO₃ 박막에 대해 조사하였다. 동작온도가 200℃ 일 때 600℃ 에서 열처리한 시편의 NO₂가스감도가 가장 높았다. XRD의 결과는 열처리한 시편은 triclinic 구조와 orthorhombic 구조가 혼합된 다결정상올 보여주었다. 또한 시편은 triclinic 구조가 적을수록 더 높은 가스 감도를 보여주었다. 600℃에서 열처리한 시편의 20℃의 동작온도일 때 5 ppm NO₂ 가스감도는 약 90이었다.

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