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저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
표면 활성화 된 그래핀 위 원자층 증착법을 통한 얇고 균일한 ZrO₂ 증착을 위한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2019 .05
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
그래핀 전사에 대한 대기압 플라즈마 표면 처리의 효과
한국트라이볼로지학회 학술대회
2015 .10
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
ALD 공정에 따른 그래핀 에어로젤의 열전도도 변화
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
High-quality SiNx thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
Preparation and characterization of zirconia ceramics with oxides addition
Journal of Ceramic Processing Research
2021 .01
Enhanced electrical properties of ZrO₂ thin films using atomic layer deposition with a novel precursor
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
그래핀 전사에 대한 플라즈마 표면처리의 효과
한국트라이볼로지학회 학술대회
2017 .10
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
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