Properties of IGZO-based oxided TFTs fabricated by sputtering and electron beam irradiation process

선지윤; 윤영준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 선지윤 (한국세라믹기술원) 윤영준 (한국세라믹기술원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 296 - 296 (1page)

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