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한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제20권 제2호
발행연도
2016.6
수록면
181 - 183 (3page)

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탄화규소(Silicon Carbide) 기반의 1200 V급 Merged Pin Schottky(MPS) 다이오드의 구조를 2D-atlas simulation tool을 사용하여 최적화 및 설계하였다. 최적화된 항복전압과 온-저항 값을 얻기 위해 본 소자에서 중요한 파라미터인 P-Grid의 도핑농도와 에피층의 도핑농도를 각각 2~10×10<sup>17</sup>cm<sup>-3</sup>, 2~10×10<sup>16</sup>cm<sup>-3</ ... 전체 초록 보기

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