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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.8
- 수록면
- 29 - 34 (6page)
- DOI
- 10.14801/jkiit.2016.14.8.29
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고화소, 고해상도 카메라와 같은 어플리케이션에 의해 CMOS 이미지 센서의 픽셀 사이즈는 1.0μm보다 더 작아지고 있다. 하지만 픽셀 사이즈가 작아짐에 따라 픽셀의 감도는 열화 되고 크로스토크(crosstalk)는 증가하는 문제가 발생한다. 본 논문에서는, 고감도 CMOS 이미지 센서를 위한 이중 마이크로 렌즈를 제안하였다. 이중 마이크로 렌즈는 상부 4개의 마이크로 렌즈와 하부 1개의 마이크로 렌즈로 구성되어있다. 제안한 구조의 성능을 평가하기 위하여, 후면 조사형(backside-illuminated, BSI) 0.9μm, 1.0μm, 1.4μm 픽셀에서 기존의 마이크로렌즈 구조와 이중 마이크로 렌즈 구조의 흡수율을 3차원 광학 시뮬레이션으로 해석하고 비교하였다. 광 특성의 계산 해석을 위하여 유한 차이 시간 영역(finite-difference time-domain) 방법을 사용하였다. 기존 구조와 제안한 구조의 비교를 통해, 이중 마이크로 렌즈가 0.9μm, 1.0μm, 1.4μm 픽셀에서 사광 입사에 대해 훌륭한 크로스 토크 성능을 보여줄 수 있었다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental Results and Discussion
Ⅲ. Conclusion
References
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
[학술대회논문] - Y. W. Cheng / 2015 / Optical performance study of BSI image sensor with stacked grid structure / 2015 IEEE International Electron Devices Meeting : 30.4.1 ~ 30.4.4
[학술대회논문] - J. C. Liu / 2014 / Advanced 1. 1 um pixel CMOS image sensor with 3D stacked architecture / IEEE Symposium on VLSI Technology, Dig. Tech. Papers : 1 ~ 2
[학술대회논문] - J. C. Ahn / 2014 / A 1/4-inch 8Mpixel CMOS Image Sensor with 3D backside illuminated 1. 12μm pixel with Frontside Deep Trench Isolation and Vertical Transfer Gate / ISSCC Dig. Tech. Papers : 124 ~ 125
[학술대회논문] - H. Seo / 2011 / A 128 x 96Pixel Stack-Type Color Image Sensor with B-, G-, R-sensitive organic photoconductive films / Proc. 2011 International Image Sensor Workshop : 236 ~ 239
[학술지(정기간행물)] - E. R. Fossum / 2011 / The quanta image sensor (QIS):Concepts and challenges / Computational Optical Sensing and Imaging
[학술대회논문] - J. C. Liu / 2014 / Advanced 1. 1 um pixel CMOS image sensor with 3D stacked architecture / IEEE Symposium on VLSI Technology, Dig. Tech. Papers : 1 ~ 2
[학술대회논문] - J. C. Ahn / 2014 / A 1/4-inch 8Mpixel CMOS Image Sensor with 3D backside illuminated 1. 12μm pixel with Frontside Deep Trench Isolation and Vertical Transfer Gate / ISSCC Dig. Tech. Papers : 124 ~ 125
[학술대회논문] - H. Seo / 2011 / A 128 x 96Pixel Stack-Type Color Image Sensor with B-, G-, R-sensitive organic photoconductive films / Proc. 2011 International Image Sensor Workshop : 236 ~ 239
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