Fabrication and Characterization of Polymer Microlens using Solvent-vapor-assisted Reflow

양승우; 김신형; 김보현; 조영학

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자료유형: 학술저널

저자정보: 양승우 (서울과학기술대학교) 김신형 (서울과학기술대학교) 김보현 (숭실대학교) 조영학 (서울과학기술대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.32 No.3

발행연도: 2015.3

수록면: 299 - 305 (7page)

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In this paper, we propose a simple and low-cost fabrication method of polymer microlens using solvent-vapor-assisted reflow (SVAR). Metal molds for replication of polymer were fabricated using micro milling and the cylindrical shape of polymer was imprinted using hot-embossing process. The cylindrical shape of polymer was changed to hemispherical lens shape by SVAR. The characteristics of fabricated microlens were evaluated according to the condition of SVAR such as temperature and time. The focal length of polymer microlens could be controlled more easily in low-temperature and long-time condition than in high-temperature and short-time condition. That is, the level of concentrated light to focal point could be improved through the control of temperature and time. Also, we confirmed that toluene was more appropriate solvent than acetone in fabrication of PMMA polymer microlens using SVAR.

#Microlens (마이크로 렌즈) #Hot-embossing (핫-엠보싱 공정) #Solvent-vapor-assisted reflow (솔벤트 증기처리 리플로우) #Light concentrating ratio (집광도)

참고문헌 (7)

참고문헌 신청

Tuantranont, A. / 2001 / Optical Beam Steering using Mems-Controllable Microlens Array / Sensors and Actuators A : Physical 91(3):363~372

Lesem, L. B. / 1969 / The Kinoform : a New Wavefront Reconstruction Device / IBM Journal of Research and Development 13(2):150~155

Tsai, J. C. / 2011 / Profile of Microlens Fabricated by the Thermal Reflow Process / IEEE Transactions on Magnetics 47(3):598~601

김신형 / 2013 / 솔벤트 증기를 이용한 폴리머 마이크로 렌즈의 표면 연마 / 한국정밀공학회지 30(6):644~649

McGinniss, V. D. / 1985 / Vaporous Solvent Treatment of Thermoplastic Substrates, US Patent, No. 4529563

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