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음극진공아크에 의해 제조된 금속질화물 박막의 두께 분포
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
반도체용 마그네트론 스퍼터링 음극 전산 모사 소프트웨어 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
음극 진공 아크 증발에 의한 기판 청정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
스퍼터링 공정의 아크 저감방법
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
음극아크증착과 스퍼터링의 하이브리드 공정으로 제조된 TiAlSiN 코팅층의 물성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
마그네트론 스퍼터링을 이용한 반응성 나노 포일의 제조 공정 최적화 및 산업적 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구
비파괴검사학회지
2018 .10
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
이원 동시 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 비정질 ITZO 박막의 열전 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
이종 소재간 밀착력 향상을 위한 이온빔 표면처리 및 금속 박막 형성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
선형이온소스 및 플라즈마 보조 마그네트론 스퍼터링을 통한 고품위 Cu 박막 형성 기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
다층 박막 스퍼터링 장비의 제어시스템에 관한 연구
전기전자학회논문지
2018 .06
DC 마그네트론 스퍼터링의 기판 온도 변수로 성장된 TiN 박막의 특성 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
스퍼터링으로 제작된 Ag-Ti 이중층 박막의 특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
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