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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2016.5
- 수록면
- 986 - 991 (6page)
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본 연구에서는 Nb₂O<SUB>5</SUB>/SiO₂ 두개의 버퍼층위에 기판온도 (상온∼400℃) 에 따른 ITO 박막을 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착하여 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. 기판온도가 상승함에 따라 그레인 크기 증가에 기인한 결정성 향상 때문에 비저항이 낮아지는 경향을 나타내었다. 기판온도 400℃ 에서 증착한 ITO 박막이 3.03×10<SUP>-4</SUP> Ω·cm 의 비저항과 86.6 Ω/sq. 의 면저항으로 가장 우수한 값을 나타내었다. 광학적 특성을 측정한 결과, 기판온도가 상승함에 따라 가시광 영역 (400∼800nm) 에서의 평균 투과도는 증가하였으며 색도 (b<SUP>*</SUP>) 값은 감소하였다. 400℃ 에서 증착한 ITO 박막의 평균 투과도와 색도 (b<SUP>*</SUP>) 는 85.8% 와 2.13 으로 버퍼층이 삽입되지 않은 ITO 박막의 82.8% 와 4.56 에 비해 상당히 향상된 결과를 나타내었다. 이를 통해 Nb₂O<SUB>5</SUB>/SiO₂ 두개의 버퍼층을 도입한 ITO 박막은 인덱스 매칭 효과로 인해 투과도 및 색도 (b<SUP>*</SUP>) 등의 광학적 특성이 현저히 향상되었음을 확인할 수 있었다.
목차
요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
X. Zhou, J. Xu, L. Yang, G. Zhu and Z. Yu, "Effects of Tin Content on Structure, Properties Electrical Repeatability, Uniformity and Stability of High Sheet Resistance ITO Thin Films for Touch Panels," J. Mater. Sci.: Mater. Electron, vol. 26, pp. 6954-6960, Jun. 2015.
S. Y. Park, M. J. Kim and P. K. Song, "Effects of the Cathode Magnetic Field Strength on the Properties of Sputtered Ultrathin ITO Films," Journal of Ceramic Processing Research, vol. 16, pp. 267-271, Apr. 2015.
H. Hosono, H. Ohta, M. Orita, K. Ueda and M. Hirano, "Frontier of transparent conductive oxide thin films," Vacuum, vol. 66, pp. 419-425, Aug. 2002.
R. N. Aguilar and G. C. M. Meijer, "Fast Interface Electronics for a Resistive Touch Screen," in Proc. IEEE Sensors, vol. 2, pp.1360-1363, Jun. 2002.
W. P. Eaton and J. H. Smith, "Micromachined Pressure Sensors: Review and Recent Developments," Smart Mater. Struct., vol. 6, pp. 530-539, Oct. 1997.
S. Y. Park, M. J. Kim and P. K. Song, "Effects of the Cathode Magnetic Field Strength on the Properties of Sputtered Ultrathin ITO Films," Journal of Ceramic Processing Research, vol. 16, pp. 267-271, Apr. 2015.
H. Hosono, H. Ohta, M. Orita, K. Ueda and M. Hirano, "Frontier of transparent conductive oxide thin films," Vacuum, vol. 66, pp. 419-425, Aug. 2002.
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