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논문 기본 정보

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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제29권 제1호
발행연도
2019.1
수록면
12 - 18 (7page)

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스케일업된 초음파 분무 열분해 공정을 이용하여 양산용 구형 SiO2 분말을 합성하였다. 초음파 분무 열분해 공정에 사용된 전구체는 20 nm에서 30 nm의 SiO2 입자를 포함한 수계 SiO2 졸을 사용하였다. 초음파 분무 열분해 공정의 구동 조건과 전구체 조건의 변화가 합성된 SiO2 입자에 미치는 영향을 알아보기 위해 반응 온도, 운반 기체 공급 속도 그리고 전구체인 수계 SiO2 졸의 농도를 조절하였다. 합성된 SiO2 입자는 공통적으로 반비정질상, 구 형태의 매끄러운 표면을나타내었다. 구형 SiO2 입자의 크기는 반응 온도가 증가 또는 전구체 농도가 감소함에 따라 감소하였다. 또한 운반 기체 공급 속도가 증가할수록 합성된 SiO2 입자의 크기는 증가하였다. 스케일업 규모와 실험실 규모의 초음파 분무 열분해 공정의차이점을 비교하였고, 반응관 내부 체류시간이 상대적으로 짧은 실험실 규모의 초음파 분무 열분해 공정에서 합성된 SiO2 입자가 상대적으로 큰 입도를 나타내었다.

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