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저자정보
곽문규 (동국대학교) 오지택 (동국대학교) 전동현 (LG) 이창진 (LG)
저널정보
한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2016년도 춘계 학술대회 논문집
발행연도
2016.4
수록면
130 - 134 (5page)

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Display device delivers various information visually. The industrial of display has been developed for better quality in the modern society. The products for higher resolution are LCD and OLED recently. In the manufacturing process to make high resolution, a laser device makes vibration and irradiates laser on TFT (Thin Film Transistor) panel. It makes a coupled vibration of the table which is the basement of the panel and have a poor influence on the preciseness and productivity. However, to make the actual equipment to solve these problems requires time, space, and cost too much. Consequently, in this vibration isolation control experiment, the implementation of isolated structure generated (created) during the manufacturing process was designed and counter-force was supplemented with PPF controller to propose the control algorithm.
#Vibration Control(진동제어) #Counter-Force(대응력) #PPF (Positive Position Feedback, 양변위되먹임) #Isolation Structure (고립 구조물)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 고립 진동제어 알고리즘
3. 고립 진동 제어 실험 및 고찰
6. 결론
References

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