Enhanced electrical properties of ZrO₂ thin films using atomic layer deposition with a novel precursor

Ji Hwan Kim ,  Seung Won Lee ,  Yoonchul Shi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature

Suyeon Kim ,  Seung-Hun Lee ,  In Ho Jo 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Al2O3-TiO2 nanolaminate gate dielectric layers with enhanced electrical performance for organic field-effect transistors

백용화 ,  김래호 ,  안태규 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .10

원자층 증착법에 의한 TiO₂, Al₂O₃, 및 TiO₂-Al₂O₃ 나노라미네이트 박막이 316L Stainless Steel의 부식특성에 미치는 영향

이우재 ,  만지흠 ,  김다영 외 4명

한국표면공학회지

2017 .02

ZrO2 원자층 박막 공정을 통한 PEMFC 촉매 내구성 향상

김남일 ,  심준형

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .05

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films

한지원 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Electrical Characteristics of Charge Trap Flash Memory with a Composition Modulated (ZrO2)x(Al2O3)1-x Film

Zhenjie Tang ,  Jing Zhang ,  Yunhong Jiang 외 3명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Al₂O₃/HfO₂ Moisture Barrier Films on Polymer Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition

Geonwoo Pa ,  k ,  Jeong Woo Shin 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Effect of purge-time of the Atomic Layer Deposition process to the moisture barrier properties of Aluminum oxide thin films

Thu Nguyen ,  김성희 ,  이준영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

원자층 증착법을 이용한 리튬티타늄산화물의 고온 전기화학 특성 향상기구 규명

남승훈 ,  박형상 ,  현승민

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Selective atomic layer deposition of AL2O3 onto monolayer graphene

김장헌 ,  김수현 ,  정원석

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .05

The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition

김성희 ,  이준영 ,  최명수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2020 .10

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Advanced Atomic Layer Deposition: Ultrathin metal film growth using discrete feeding method and electric potential assisted-atomic layer deposition

Ji Won Han ,  Hyun Soo Jin ,  Yoon Jeong Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

Improved Contact property in low temperature process via Ultrathin Al₂O₃ layer

정성현 ,  신대영 ,  조형균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06