Hafnium Oxide Layer Based Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Capacitors with Annealing Temperature Variation

이나영; 최병덕

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이나영 (성균관대학교) 최병덕 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2016.2

수록면: 318 - 318 (1page)

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#MOS capacitor #Solution process #Hafnium oxide #annealing temperature

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