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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.9
- 수록면
- 122 - 127 (6page)
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본 연구에서는 클린룸에서의 3차원 유동해석을 수행하였다. 로봇실험 장치에서 로봇의 움직임에 의해 형성되는 유동장에 대한 수치적인 분석을 본 연구에서는 다루고 있으며, 클린룸에서 로봇의 움직임에 대한 영향을 분진이 쌓이는 영역을 찾기 위해서 진행된다. 다관절 로봇의 움직임에 의해 생성되는 바닥 표면의 분진은 유동장 분석에 의해 예측될 수 있으며, 해석결과는 커다란 스월유동이 움직이는 로봇 주위에서 생성된다고 분석된다. 따라서, 가장 바람직한 유동 조건은 공기의 입구와 출구부의 위치를 다시 정하여 유동속도를 변화시키면서 검토해야 한다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 해석대상
3. 수치해석
4. 해석결과 및 분석
5. 결론
References
참고문헌 (6)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Ik Tae Im / 2006 / Numerical study on the air-cushion glass transportation unit for LCD panels / Semiconductor and Display 5 (1) : 27 ~ 31
[학술지(정기간행물)] - 임익태 / 2007 / Numerical Study on the Air-Cushion Unit for Transportation of Large-Sized Glass Plate / 반도체디스플레이기술학회지 6 (1) : 59 ~ 64
[학술지(정기간행물)] - Hiromi ISOBE / 2007 / Non-contact Transportation of Flat Panel Substrate by Combined Ultrasonic Acoustic Viscous and Aerostatic Forces / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 8 (2) : 44 ~ 48
[학술대회논문] - Bailey, D.A / 1992 / Computational Fluid Dynamics Analysis of Clean Room / Proceedings Fluent Ciser’s Group Meeting : 357 ~ 376
[학술대회논문] - Sturgis, F. J. / 1992 / Simulation of Air Flow Through the KODAK Automated Disk Library / Proceedings Fluent User's Group Meeting : 335 ~ 356
[학술지(정기간행물)] - 임익태 / 2007 / Numerical Study on the Air-Cushion Unit for Transportation of Large-Sized Glass Plate / 반도체디스플레이기술학회지 6 (1) : 59 ~ 64
[학술지(정기간행물)] - Hiromi ISOBE / 2007 / Non-contact Transportation of Flat Panel Substrate by Combined Ultrasonic Acoustic Viscous and Aerostatic Forces / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 8 (2) : 44 ~ 48
[학술대회논문] - Bailey, D.A / 1992 / Computational Fluid Dynamics Analysis of Clean Room / Proceedings Fluent Ciser’s Group Meeting : 357 ~ 376
[학술대회논문] - Sturgis, F. J. / 1992 / Simulation of Air Flow Through the KODAK Automated Disk Library / Proceedings Fluent User's Group Meeting : 335 ~ 356
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