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손희철 (경북대학교) 김성우 (경북대학교) 이지훈 (경북대학교) 박철우 (경북대학교) 곽문규 (경북대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.32 No.10
발행연도
2015.10
수록면
897 - 902 (6page)

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This study reports on a uniform resin coating method by using a doctor blade type dispenser. For high productivity, continuous imprint-lithography has been studied, and developed fabrication systems are used in several applications such as anti-reflection films, dry adhesives, and water collecting surfaces. In the continuous fabrication field, researchers have typically focused on patterning and demolding procedures. During the roll-to-roll fabrication process, however, the uniform resin coating process is also important in order to obtain a high quality product, which can be evaluated by uniform thickness, precise geometric expressions, and a thin residual layer. To achieve these, a doctor blade type dispenser was designed and fabricated. As a result, thickness of coated resin was well controlled by modulating the flow rate of the resin and blading gap. In addition, a very thin layer coating process (~ 10 μm) was achieved by softly contacting the blade on the substrate.
#Imprint lithography(임프린트 리소그래피) #Coating process(코팅 공정) #Dispense (디스펜서) #Doctor blade(닥터블레이드) #Roll to roll process(롤투롤 공정)

목차

1. 서론
2. 디스펜서 필요성 및 제작과정
3. 코팅 결과 및 분석
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
Ahn, S. H. / 2009 / Large-Area Roll-to-Roll and Roll-to-Plate Nanoimprint Lithography: A Step toward High-Throughput Application of Continuous Nanoimprinting / ACS Nano 3(8):2304~2310 google schola 곽문규 / 2012 / 롤타입 마스크를 이용한 연속 포토리소그래피 기술과 그 응용 / 대한기계학회논문집 B 36(10):1011~1017 dbpia 임형준 / 2013 / 롤 기반 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술 / 한국기계가공학회지 12(5):1~8 dbpia Chang, Y. R. / 2009 / Start-Up of Slot Die Coating / Polymer Engineering & Science 49(6):1158~1167 google schola 박장훈 / 2015 / 대면적 롤투롤 슬롯-다이 코팅의 횡 방향 두께 품질 개선을 위한 공정 파라미터 분석 / 한국정밀공학회지 32(2):159~166 google schola

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