닥터블레이드형 디스펜서를 통한 롤타입 리소그래피 공정 중 레진 코팅 과정의 균일도 개선

손희철; 김성우; 이지훈; 박철우; 곽문규

추천

검색

질문

자료유형: 학술대회자료

저자정보: 손희철 (경북대학교) 김성우 (경북대학교) 이지훈 (경북대학교) 박철우 (경북대학교) 곽문규 (경북대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 한국생산제조시스템학회 추계학술대회

발행연도: 2015.10

수록면: 300 - 300 (1page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2015

임프린트 공정 중 레진 코팅의 정량화를 위한 닥터블레이드형 디스펜서 설계 및 제작

손희철 , 김성우 , 이지훈 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

닥터블레이드형 디스펜서를 통한 롤타입 리소그래피 공정 중 레진 코팅 과정의 균일도 개선

손희철 , 김성우 , 이지훈 외 2명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015.10 학술대회자료

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

등록된 정보가 없습니다.

#Imprint lithography #Coating process #Dispenser #Doctor blade #Roll to Roll process

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

손희철

소속기관 경북대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 3 이용수 211

김성우

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학

논문수 24 이용수 1,260

이지훈

소속기관 한양대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 산업공학

논문수 170 이용수 10,075

박철우

소속기관 한대구기계부품연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 278 이용수 15,572

M. K. Kwak

소속기관 경북대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 0.5% 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 299 이용수 15,401

이 논문과 함께 이용한 논문

임프린트 공정 중 레진 코팅의 정량화를 위한 닥터블레이드형 디스펜서 설계 및 제작

손희철 , 김성우 , 이지훈 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 .12

Roll type micro/nano fabrication process

Moon Kyu Kwak 미세가공 심포지엄 2013 .11

마이크로 금속 그물 구조를 이용한 투명한 성에제거 장치 제작

이성호 , 김성우 , 강봉수 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016 .05

롤투롤 마이크로 스텐실 제작 공정에서 PDMS 몰드의 종횡비와 임프린트 압력이 미치는 영향에 대한 연구

이지훈 , 곽문규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016 .05

가변 농도 레진의 에어브러싱을 통한 균일 나노박막 도포 및 잔막두께 조절이 가능한 롤투롤 나노임프린팅에의 응용

김정대 , 이성호 , 구성관 외 5명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016 .05

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-552-001964403

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)