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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 이호준
- 발행연도
- 2014
- 저작권
- 부산대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수3
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In this study, we composed vacuum chamber using parallel plate electrode to confirm the reliability of the electrostatic probe. Using this equipment, investigated the basic discharge characteristics of DC plasma.
When semiconductor processing, One of the most important element as plasma parameter measured and calculated through the electrostatic probe. And conducts the fluid simulation using COMSOL Multiphysics tool, analyze and compare with the result.
The reliability of electrostatic probe was identified by checking the similar tendency of Experimental and fluid simulation results.
When semiconductor processing, One of the most important element as plasma parameter measured and calculated through the electrostatic probe. And conducts the fluid simulation using COMSOL Multiphysics tool, analyze and compare with the result.
The reliability of electrostatic probe was identified by checking the similar tendency of Experimental and fluid simulation results.
목차
1. 서론 12. 이론적 배경2-1. 플라즈마(Plasma) 32-2. 플라즈마의 종류 52-2-1. 열 플라즈마(Thermal Plasma) 62-2-2. 저온 플라즈마(Cold Plasma) 82-3. DC Glow Discharge 93. 실험장치 및 실험방법3-1. DC 플라즈마 장치 및 개요도 163-2. 실험방법 184. 결과 및 고찰4-1. 전압과 발라스트 저항에 따른 전기적 특성 204-2. 전극간격과 압력에 따른 방전 특성 224-3. 정전 탐침을 이용한 플라즈마 변수 측정 264-4. 압력과 발라스트 저항에 따른 플라즈마 변수 분포 334-5. 유체 시뮬레이션과 비교 분석 395. 결론 456. 참고문헌 47
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