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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이수종 (티이에스)
저널정보
한국로봇학회 로봇과 인간 로봇공학회지 제12권 제2호
발행연도
2015.5
수록면
22 - 25 (4page)

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본 과제의 최종 연구개발 제품은 "고 해상도 디스플레이이 제조용 진공로봇"으로서 다음의 연구개발 내용을 포함한다.
1. 고온 환경에서도 장치 고유의 정밀도를 유지하는 장치 개발
2. 진공 챔버 내에서 동작하는 진공환경용 장치 개발
3. 반도체 및 FPD 제조공정에서 특수목적용으로 파티클 최소화 장치 개발
4. 이송장치의 대형화에 따른 구조해석 및 안정성 확보 설계
5. 고온환경용 진공이송모듈의 국산화 및 저가형 양산모델의 개발
이송로봇의 기본 구조인 Linear type과 Frog Arm type을 바탕으로 구조해석을 통한 최적설계 후, 위의 개발내용을 만족시키는 Hybrid type이 본 과제의 최종제품으로 개발 되었다.
최종제품은 고온(200°C 이상의 구동환경)에서의 8세대급 Glass 핸들링, 챔버내에서의 내진공도 테스트(Leak Test), 파티클 카운터를 이용한 클린도 테스트 등을 통해 성능이 검증 되었으며, 장기간의 내구성 시험에도 합격하였다.
이 결과를 바탕으로 2014년 국내 OLED 패널 제조사의 양산라인에 적용되었고, 2015년 대만과 중국의 OLED 패널 제조사의 양산라인용 물량 수주에도 성공하였다.

목차

1. 요약
2. 기술개발개요
3. 개발결과 요약
4. 기술 및 경제적 성과
5. 파급효과 및 기대효과
6. 해당기술, 제품의 시장 현황
7. 제품 사진

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