RF마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO : AI투명도전막의 제조 및 특성 ( Fabrication of ZnO : Al Transparent Conductive Film by RF Magnetron Sputtering and Its Properties )

이형기 ,  마대영 ,  박기철

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

ZnO : Al 투명도전막의 열처리특성에 대한 연구 ( A Study on the Heat Treatment Effects of ZnO : Al Transparent Conductive Thin Films )

유권규 ,  홍천일 ,  김정규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Optical properties of the Al:ZnO transparent conducting oxide films prepared by DC/RF Magnetron Sputtering Method

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Al:ZnO 투명전도성 산화막의 광학적 특성

이붕주 ,  신백균 ,  남광우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

태양전지용 ZnO:Al 투명 전도막 제작

탁성주 ,  강민구 ,  김동환

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2005 .11

RF Sputter를 이용한 ZnO:Al 투명전도막 형성 및 후열처리 온도 변화에 따른 특성 분석

최원석 ,  박정은 ,  박정훈 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

태양전지용 ZnO:Al 투명전도막의 제작

탁성주 ,  강민구 ,  김동환

한국재료학회지

2006 .01

수소화된 ZnO:Al 박막 특성연구

탁성주 ,  이승훈 ,  김원목 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2007 .06

RF magnetron sputtering법으로 형성된 ZnO 박막의 투명반도체 특성

김종욱 ,  황창수 ,  김홍배

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

인라인 스퍼터링법에 의한 ZnO:Al 박막 증착 및 습식 식각에 따른 표면 형상 제어

김영진 ,  조준식 ,  박상현 외 4명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

ZnO:Al 투명도전막의 열처리에 따른 전기적 및 광학적 특성

마대영 ,  박기철

전기전자학회논문지

2020 .06

ZnO/Al/ZnO 구조의 투명전극 적용성 연구

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

H₂/Ar분위기에서 제조한 투명전극용 ZnO:Al 박막의 특성

탁성주 ,  이정섭 ,  김원목 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2006 .06

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

막 두께에 따른 ZnO:Al 투명 전도막의 전기적, 광학적 특성

양진석 ,  박원효 ,  김용진 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

ZnO:AI 투명도전막의 열처리특성에 대한 연구

유권규 ,  홍천일 ,  김정규 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

V-I Curves of p-ZnO:Al/n-ZnO:Al Junction Fabricated by RF Magnetron Sputtering

Hu-Jie Jin ,  Yun-Hwan Jeong ,  Choon-Bae Pa 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01