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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년도 하계종합학술대회 논문집Ⅱ(반도체/컴퓨터/시스템 및 제어) 제30권 제1호
발행연도
2007.7
수록면
889 - 890 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

PLD 법으로 제작한 IZO 박막의 광학적 특성에 관한 연구
신현호 ,  강성준 ,  윤영섭 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료
PLD 법으로 제작한 IZO 박막의 광학적 특성에 관한 연구
신현호 ,  강성준 ,  윤영섭 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료

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In this study, IZO (Indium Zinc Oxide) thin films were prepared on quartz substrates by pulsed laser deposition. The optic머 and electrical properties were investigated as a function of substrate temperatures at a fixed oxygen pressure. The XRD measurement showd that polycrystalline IZO thin film were formed. The surf ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
참고문헌

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