Si 기판위에 증착된 Titanium 박막에 AFM-Tip-Induced Anodization을 이용한 Nanometer Scale 크기의 Oxide 패턴제작

허철; 박성주

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저자정보: 허철 박성주

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제5권

발행연도: 1998.1

수록면: 619 - 620 (2page)

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허철

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박성주

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