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저자정보
Cheol-Woong Kim (고려대학교) Tae-Young Kim (트리플씨메디칼)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
2,838 - 2,843 (6page)

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We analyze transient current data during the formation of titanium oxide nanodots by AFM-tip-induced anodic oxidation with the aim of getting further understanding of local oxidation kinetics. The measured current waveforms show a transition between two distinct regimes, in agreement to what was previously known of the growth process, and their behavior is discussed with respect to the oxide growth rate and to the formation of the space charge. Furthermore, it is shown how the knowledge of the duration of the first transient regime can be exploited to optimize the application of pulsed bias voltages to obtain a substantial improvement in aspect ratio of growing oxides.
#Atomic Force Microscope(AFM) #Ocal Anodic Oxidation #AFM Patterning #Transient Current

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental Setup
3. Results and discussion
4. Conclusion
References

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