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논문 기본 정보

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저널정보
Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of the Korean Society of Precision Engineering Vol.5 No.2
발행연도
2004.4
수록면
39 - 45 (7page)

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Atomic Force Microscope (AFM) has been widely used in micro/nano-scale studies and applications for the last few decades. In this work, wear characteristics of silicon-based AFM tip was investigated. AFM tip shape was observed using a high resolution SEM and the wear coefficient was approximately calculated based on Archard's wear equation. It was shown that the wear coefficient of Si and Si₃N₄ tips were in the range of 10?¹~1O?³ and 1O?³~1O?⁴, respectively. Also, the effect of relative humidity and sliding distance on adhesion-induced tip wear was investigated. It was found that the tip wear has more severe for harder counter surface materials. Finally, the probable wear mechanism was analyzed from the adhesive and abrasive interaction point of view.
#Adhesion #AFM #Nano-wear #Si tip #Si₃N₄tip

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Experimental Details
3. Experimental Result
4. Discussions
5. Conclusions
Acknowledgement
References

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - Binnig / 1986. / Atomic Force Microscope 56 (9) : 930 ~ 933 google schola [학술지(정기간행물)] - Mate / 1987. / Atomic-Scale Friction of a Tungsten Tip on a Graphite Surface 59 (17) : 1942 ~ 1945 google schola [학술지(정기간행물)] - A / 1999. / Scratching Resistance of Diamond-Like Carbon Coatings in the Subnanometer Regime 75 (8) : 1077 ~ 1079 google schola [학술지(정기간행물)] - Lee / 1998. / A Study on the Surface Damage between Head/Disk Interfaces by Using AFM 15 (9) : 167 ~ 174 dbpia [학술지(정기간행물)] - Dagata / 1998. / The Role of Space charge in Scanned Probe Oxidation 84 (12) : 6891 ~ 6900 google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-016775703