Pt / Ti / SiO2 / Si기관 위에 in-situ로 형성된 PZT박막의 특성과 상형성에 미치는 산소의 영향

김윤희; 백수현; 황유상; 최진석; 김동원; 정재경; 마재평

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김윤희 백수현 황유상 최진석 김동원 정재경 마재평

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제1권

발행연도: 1994.1

수록면: 41 - 42 (2page)

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