초소형 전자칼럼의 제작 및 특성 연구

안승준 ,  김대욱 ,  김영철 외 3명

한국재료학회지

2004 .01

Microcolumn을 위한 새로운 개념의 초소형 전자빔 deflector

한창호 ,  김학 ,  전국진

대한전자공학회 학술대회

2003 .07

Optical Resist Process Technology for Deep-Submicron Patterning

문승찬 ,  복철규 ,  김진섭 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Fabrication and Characterization of Microcolumn Array Aligned by Field Emission Array ( FEA )

박정영 ,  Ja ,  ed D. Le 외 7명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

STM 장치의 제작 ( Fabrication of STM System )

강태원 ,  최성은 ,  박찬

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

The Effect of Electron-Electron Scattering on the Electron Transport in Submicron Device

이명진 ,  도준회 ,  이형락 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

신뢰성 향상을 위한 3-order STM 시험검사법 설계

육선우 ,  황인호 ,  정진석 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .11

ACE2000 MPLS 시스템에서의 STM-1/STM-4C급 트래픽 성능시험 분석

김광옥 ,  최창식 ,  박대근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2001 .11

Performance of STM ( Scanning Tunneling Microscopy ) Controlled Electron Beam Lithography System

최호진 ,  박정영 ,  이용재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

STM-1 신호 처리기 설계 및 구현 ( A Design and Implementation of STM-1 Signal Processor )

이석훈 ,  고정훈 ,  박세진

한국통신학회 학술대회논문집

1996 .01

삼층감광막구조를 이용한 미세패턴의 전자빔 묘화 ( Submicron Patterning in Electron Beam Lithography using Trilayer Resist )

배용철 ,  서태원 ,  전국진

전자공학회논문지-A

1994 .10

Wafer Level Fabrication Method of Microcolumn Array for Improvement of Uniformity

Changho Han ,  Hyeon Cheol Kim ,  Kukjin Chun

ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications

2006 .07

Development of a STM-64 Optical Transmission System

Man Seop Lee ,  Yoo Kyoung Lee ,  Kyung Gyu Chun

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH

Chenming Hu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

High Resolution Self-aligned Patterning Process for Printed Electronics

Won-Tae PARK ,  Yong-Young NOH

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

전자빔 피니싱 장비에서 라인 패턴 가공

임선종 ,  최지연

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

이온빔과 전자빔을 이용한 마스크리스 나노 패터닝에 관한 연구

김흥배

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning

김영식 ,  허철 ,  김철균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01