Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발

박세근 ,  이종근 ,  조수범 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

$NF_3$ 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 SiC 단결정 식각에 관한 연구

최현준 ,  박주훈 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Second-order nonlinear optical properties of sol-gel films containing a silylated chalocone

박지혜 ,  최동훈 ,  이주현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

산소 플라즈마를 이용한 Photo Resist 제거 ( Photo Resist Stripping by Oxygen Plasma )

김정호 ,  김원규 ,  노영수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Solid-state CP/MAS NMR분석에 의한 silylated polysulfone에서의 chain-mobility와 기체투과 현상과의 관계

이귀종 ,  조재영 ,  강용수 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1999 .10

Aminopropyl Triethoxysilane과 아크릴 단량체를 이용한 Silylated Acrylic Polyurethane Dispersion의 제조

김병석 ,  윤동구 ,  유병원 외 3명

화학공학

2012 .01

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Photocrosslink behavior of sol-gel matrix bearing silylated chalcone and second-order nonlinear optical chromophore

박지혜 ,  강석훈 ,  최동훈

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .04

O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )

최영규 ,  강진영 ,  마동성

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01

Spi Wet etching 공정을 이용한 마이크로 Dot 패턴 Etching 공정 최적화 연구

이해곤 ,  손성기 ,  고민수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

NFS 알고리즘에서의 두 개의 3차 다항식 선택

구남훈 ,  조국화 ,  권순학

한국통신학회 학술대회논문집

2011 .02

Etch의 기술 개발 및 Etch와 Lithography 기술 시장 동향

이종근

전자공학회지

2013 .12

에칭시스템에서 요동각 변화에 따른 에칭특성 시뮬레이션

정흥철 ,  김영진 ,  정지원 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .04

Lead-Frame 에칭공정에서 분무특성을 이용한 에칭특성의 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2006 .04